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High-NA-EUVL Mit Frachtflugzeug und Schleife: Die Ankunft von Intels High-NA-EUVL-Maschine

Von Susanne Braun 2 min Lesedauer

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Intel Corp
ASML Netherlands B.V.
ROHM Semiconductor GmbH
Syslogic GmbH
congatec GmbH

Die Freude der Verantwortlichen bei Intel über den Erhalt der ersten High-NA-EUVL-Maschine von ASML im Januar 2024 war groß – so groß, dass die Ankunft und der Zusammenbau der Schlüsselkomponenten des großen Geräts im Video dokumentiert wurden.

Lieferung und Montage der Twinscan-EXE:5000-Maschine von ASML bei Intel.
Lieferung und Montage der Twinscan-EXE:5000-Maschine von ASML bei Intel.
(Bild: Intel Corp.)

Wie groß sind diese High-NA-EUVL-Maschinen eigentlich, die Halbleiter-Lithografie-Spezialist ASML für die Kundschaft zusammenbaut? Denn: Je kleiner Transistoren werden sollen, desto größer wird die Maschine, die dafür benötigt wird, um dies zu erreichen. High-NA-EUVL (High Numerical Aperture Extreme Ultraviolet Lithography)bietet im Vergleich zu Low-NA-EUVL eine verbesserte Auflösung und Präzision, was für die Herstellung hochmoderner Mikrochips mit kleineren Strukturen entscheidend ist.

Low-NA-EUVL kann jedoch kosteneffizienter und für Anwendungen geeignet sein, bei denen eine etwas niedrigere Auflösung akzeptabel ist. Klar ist, wie erwähnt, dass die High-NA-EUVL-Geräte umfangreicher ausfallen. Wie umfangreich, das zeigt ein Video von Intel.

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Einmal um die halbe Welt

Ende 2023 erhielt Intel die erste Maschine, die zum Werk in Hillsboro, Oregon geliefert wurde. Dabei handelt es sich um einen der größten Standorte des Unternehmens, der für seine hochmodernen Produktionsanlagen und seine Rolle bei der Entwicklung und Implementierung neuer Fertigungstechnologien bekannt ist.

Mit einem kurzen Zeitraffervideo von der Ankunft und der Durchführung der ersten Montageschritte feiert Intel das neue „Spielzeug“. Es wird angenommen, dass es für die Forschung und die Entwicklung genutzt wird, damit die Beschäftigten von Intel erst einmal den Einsatz und Umgang mit High-NA-EUVL lernen. Schließlich packt man eine solch komplexe Maschine nicht einfach aus, schließt sie an den Strom an, legt einen Schalter um und schon funktioniert alles einwandfrei.

Tatsächlich werden im Video lediglich die Schlüsselkomponenten des Geräts mit dem Namen Twinscan EXE:5000 gezeigt. Alle Teile der Maschine sollen in etwa 250 Kisten Platz finden und ein Gesamtgewicht von rund 150 Tonnen auf die Waage bringen. Die volle Montage wird mehrere Hundert Mitarbeitende von ASML und Intel mehrere Monate beschäftigen, und dann folgen noch mehrere Wochen, wenn nicht gar Monate, um die Maschine zu kalibrieren. (sb)

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